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純金屬及單相合金的腐蝕是一個化學溶解的過程。由于晶界上原子排列不規則，具有較高自由能，所以晶界易受腐蝕而呈凹溝，使組織顯示出來，在顯微鏡下可以看到多邊形的晶粒。若腐蝕較深，則由于各晶粒位向不同，不同的晶面溶解速率不同，腐蝕后的顯微平面與原磨面的角度不同，在垂直光線照射下，反射進入物鏡的光線不同，可看到明暗不同的晶粒。
兩相合金的腐蝕主要是一個電化學腐蝕過程。兩個組成相具有不同的電極電位，在腐蝕劑中，形成極多微小的局部電池。具有較高負電位的一相成為陽極，被溶入電解液中而逐漸凹下去；具有較高正電位的另一相為陰極，保持原來的平面高度。因而在顯微鏡下可清楚地顯示出合金的兩相。圖為鎂-鋅合金與珠光體組織兩相腐蝕后的情況。多相合金的腐蝕，主要也是一個電化學的溶解過程。在腐蝕過程中腐蝕劑對各個相有不同程度的溶解。必須適用合適的腐蝕劑，如果一種腐蝕劑不能將全部組織顯示出來，就應采取兩種或更多的腐蝕劑依次腐蝕，使之逐漸顯示出各相組織，這種方法也叫選擇腐蝕法。另一種方法是薄膜染色法。此法是利用腐蝕劑與磨面上各相發生化學反應，形成一層厚薄不均的膜(或反應沉淀物)，在白光的照射下，由于光的干涉使各相呈現不同的色彩，從而達到辨認各相的目的。
化學腐蝕的方法是顯示金相組織Z常用的方法。其操作方法是：將已拋光好的試樣用水沖洗干凈或用酒精擦掉表面殘留的臟物，然后將試樣磨面浸入腐蝕劑中或用竹夾子或木夾夾住棉花球沾取腐蝕劑在試樣磨面上擦拭，拋光的磨面即逐漸失去光澤；待試樣腐蝕合適后馬上用水沖洗干凈，用濾紙吸干或用吹風機吹干試樣磨面，即可放在顯微鏡下觀察。試樣腐蝕的深淺程度要根據試樣的材料，組織和顯微分析的目的來確定，同時還應與觀察者所需要的顯微鏡的放大率有關；高倍觀察時腐蝕稍淺一些，而低倍觀察則應腐蝕較深一些。
